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1. 金屬靶：鈦靶，鉻靶、鋯靶、鎳靶、銅靶、不銹鋼靶、硅靶、氧化鈮靶、氧化鈦靶、鋁 靶、金靶、銀靶、鈀靶、鉑靶、錫靶、鎢靶、鈮靶、釩靶、鉬靶、鎂靶、鉍靶

2. 合金靶材：

1) 鈦鋁 合金靶材 (67:33,50:50，70:30,80:20，at%)

2) 鎢鈦 合金靶材 (90:10，95:5wt%),

3) 鎳釩 合金靶材 (93:7,wt%)

4) 鎳鉻 合金靶材 (80:20, 70:30,95:5wt%),

5) 鋁鉻 合金靶材 (70:30,50:50at%)

6) 鈦鋯 合金靶材 (50:50wt%）

7) 硅鋁 合金靶材 (90:10,95:5,98:2,70:30,wt%)

8) 鋅鋁 合金靶材

9) 銀合金

10)金合金靶材 (70:30, 50:50，67:33，at%)

11) 鎳銅合金靶材 (70:30,80:20,wt%)

12)鉬鈮 合金靶材

13)鈦硅 合金靶材

14)鈦鋁硅 合金靶材 (Ti/Al/Si=30/60/10, 33/67, 40/50/10 ,wt% and at%)

15)鉻鋁硅 合金靶材 (Cr/Al/Si